三フッ化窒素
三フッ化窒素は無機化合物であり、無色、不燃性、有毒の気体で、かび臭い臭気がある。主に電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガスとして使用される。
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CAS 7783-54-2
GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
N(F)(F)F