ChemAbout
© 2026 ChemAbout
インサイト|プライバシーポリシー|利用規約|[email protected]
ホーム/化合物/電子化学品/三フッ化窒素
F3N
71.002 g/mol
電子化学品危険

NITROGEN TRIFLUORIDE

三フッ化窒素

CAS7783-54-2EC232-007-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガス

三フッ化窒素は無機化合物であり、無色、不燃性、有毒の気体で、かび臭い臭気がある。主に電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガスとして使用される。

電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガス

コンテンツの範囲: 本ページの情報は、化学品の識別および産業供給・研究開発・製造の文脈を対象としています。治療効果の主張、医療助言、または医薬品の使用指示には該当しません。

この化合物を調達・供給しますか?

在庫を登録するか、購入リクエストを投稿してください

CAS 7783-54-2

この製品を出品する
ログインして供給情報を公開
この製品を購入リクエスト
登録不要でリクエスト送信

関連化合物

参考同カテゴリ

四フッ化ゲルマニウム

CAS7783-58-6

半導体製造

参考同カテゴリ

フッ化チタン(IV)

CAS7783-63-3

電子化学品前駆体

参考同カテゴリ

フッ化タングステン(VI)

CAS7783-82-6

タングステン化学蒸着源

参考同カテゴリ

アルシン

CAS7784-42-1

半導体製造用ドーパント

安全参照

酸化性
酸化性
高圧ガス
高圧ガス
有害
有害
健康有害性
健康有害性
危険
H270May cause or intensify fire; oxidizer
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H332Harmful if inhaled
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H371May cause damage to organs
識別子
InChIKey

GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N

SMILES

N(F)(F)F

別名一覧 (16)
  • N,N,N-Trifluoroamine #
  • NF(3) gas
  • NITROGEN TRIFLUORIDE
  • Nitrogen fluoride
  • Nitrogen fluoride (NF3)
  • Perfluoroammonia
  • Trifluoramine
  • Trifluorammonia
  • Trifluoroamine
  • Trifluoroammonia
  • [NF3]
  • trifluoridonitrogen
  • trifluoroazane