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F3N
71.002 g/mol
電子化学品危険

NITROGEN TRIFLUORIDE

三フッ化窒素

CAS7783-54-2EC232-007-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガス

三フッ化窒素は無機化合物であり、無色、不燃性、有毒の気体で、かび臭い臭気がある。主に電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガスとして使用される。

電子機器製造におけるチャンバー洗浄ガス

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安全参照

酸化性
酸化性
高圧ガス
高圧ガス
有害
有害
健康有害性
健康有害性
危険
H270May cause or intensify fire; oxidizer
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H332Harmful if inhaled
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H371May cause damage to organs
規制コンプライアンス1
  • CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCN規制
    掲載済み· 記載日 2015-05-01出典

関税分類(HSコード)

NITROGEN TRIFLUORIDE(CAS 7783-54-2)の国際HSコードは 2812.90 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2812.90

EU CNコード(8桁)

2812 90 00

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
InChIKey

GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N

SMILES

N(F)(F)F

別名一覧 (16)
  • N,N,N-Trifluoroamine #
  • NF(3) gas
  • NITROGEN TRIFLUORIDE
  • Nitrogen fluoride
  • Nitrogen fluoride (NF3)
  • Perfluoroammonia
  • Trifluoramine
  • Trifluorammonia
  • Trifluoroamine
  • Trifluoroammonia
  • [NF3]
  • trifluoridonitrogen
  • trifluoroazane

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