F6W
297.83 g/mol
電子化学品危険
Tungsten hexafluoride
フッ化タングステン(VI)
CAS7783-82-6EC232-029-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
タングステン化学蒸着源
六フッ化タングステンは、化学蒸着プロセスにおいてタングステン膜を形成するための原料として主に使用されるタングステン化合物です。半導体デバイス内のタングステン配線形成に電子産業で重要です。
化学蒸着によるタングステンコーティング半導体配線用タングステン金属源
コンテンツの範囲: 本ページの情報は、化学品の識別および産業供給・研究開発・製造の文脈を対象としています。治療効果の主張、医療助言、または医薬品の使用指示には該当しません。
この化合物を調達・供給しますか？
在庫を登録するか、購入リクエストを投稿してください
CAS 7783-82-6
関連化合物
安全参照
危険
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H301Toxic if swallowed
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H330Fatal if inhaled
識別子
IUPAC名
hexafluorotungsten
InChIKey
NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H
SMILES
F[W](F)(F)(F)(F)F
別名一覧 (12)
- Hexafluorotungsten
- TUNGSTEN HEXAFLUORIDE (WF6)
- TUNGSTEN(6+) FLUORIDE
- Tungsten fluoride
- Tungsten fluoride (WF6)
- Tungsten hexafluoride
- Tungsten(6+) hexafluoride
- Tungsten(VI) fluoride
- WOLFRAM HEXAFLUORIDE