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F6W
297.83 g/mol
電子化学品危険

Tungsten hexafluoride

フッ化タングステン(VI)

CAS7783-82-6EC232-029-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
タングステン化学蒸着源

六フッ化タングステンは、化学蒸着プロセスにおいてタングステン膜を形成するための原料として主に使用されるタングステン化合物です。半導体デバイス内のタングステン配線形成に電子産業で重要です。

化学蒸着によるタングステンコーティング半導体配線用タングステン金属源

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安全参照

高圧ガス
高圧ガス
腐食性
腐食性
毒性
毒性
危険
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H301Toxic if swallowed
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H330Fatal if inhaled
規制コンプライアンス1
  • CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCN規制
    掲載済み· 記載日 2015-05-01出典

関税分類(HSコード)

Tungsten hexafluoride(CAS 7783-82-6)の国際HSコードは 2826.19 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2826.19

EU CNコード(8桁)

2826 19 90

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
IUPAC名

hexafluorotungsten

InChIKey

NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H

SMILES

F[W](F)(F)(F)(F)F

別名一覧 (12)
  • Hexafluorotungsten
  • TUNGSTEN HEXAFLUORIDE (WF6)
  • TUNGSTEN(6+) FLUORIDE
  • Tungsten fluoride
  • Tungsten fluoride (WF6)
  • Tungsten hexafluoride
  • Tungsten(6+) hexafluoride
  • Tungsten(VI) fluoride
  • WOLFRAM HEXAFLUORIDE

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