H4Si
32.117 g/mol
電子化学品危険
SILANE
シラン
CAS7803-62-5EC232-263-4
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
その他
主な用途
半導体成膜用シリコン源
シランは無色、可燃性、有毒の気体で、強い刺激性の臭気を持ちます。空気中で容易に発火し、吸入すると非常に毒性が強いです。
半導体用高純度シリコンの供給源固体デバイスのドーピング剤アモルファスシリコンの製造
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CAS 7803-62-5
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参考stereoisomer of
(2H4)Silane
CAS13537-07-0
研究用化合物
安全参照
危険
H220Extremely flammable gas
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H333May be harmful if inhaled
H335May cause respiratory irritation
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
識別子
IUPAC名
silane
InChIKey
BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
[SiH4]
別名一覧 (9)
- SILANE
- Flots 100SCO
- Monosilane
- Silan
- Silicane
- Silicon hydride
- Silicon hydride (SiH4)
- Silicon tetrahydride
- tetrahydridosilicon