C8H4Cl3F13Si
481.5 g/mol
電子化学品危険
Trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
CAS78560-45-9EC278-947-6
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
有機金属
主な用途
ウェハ接合用コーティング
トリクロロ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-トリデカフルオロオクチル)シランは、半導体産業でコーティング剤として使用される有機ケイ素化合物です。主な意義は、製造プロセスにおける薄ウェハの接合と取り扱いを容易にすることにあります。
薄ウェハ接合用コーティング半導体ウェハの薄膜化
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CAS 78560-45-9
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発光プローブおよび光増感剤
安全参照
危険
H314Causes severe skin burns and eye damage
H335May cause respiratory irritation
識別子
IUPAC名
trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
InChIKey
PISDRBMXQBSCIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C[Si](Cl)(Cl)Cl)C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F
別名一覧 (14)
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