F4Ti
123.861 g/mol
電子化学品危険
Titanium tetrafluoride
フッ化チタン(IV)
CAS7783-63-3EC232-017-6
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
無機塩
主な用途
電子化学品前駆体
四フッ化チタンは、電子材料製造において電子化学品前駆体として使用される無機化合物です。化学気相成長や半導体製造プロセスでチタン源として機能します。
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CAS 7783-63-3
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安全参照
危険
H302Harmful if swallowed
H312Harmful in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H332Harmful if inhaled
識別子
IUPAC名
tetrafluorotitanium
InChIKey
XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J
SMILES
F[Ti](F)(F)F
別名一覧 (4)
- Titanium(IV) fluoride
- tetrafluorotitanium
- titanium tetrafluoride
- titanium(4+) tetrafluoride