四フッ化ゲルマニウム
テトラフルオロゲルマンは、半導体製造に使用される化合物です。工業プロセスでゲルマニウム源として機能します。
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CAS 7783-58-6
tetrafluorogermane
PPMWWXLUCOODDK-UHFFFAOYSA-N
F[Ge](F)(F)F