F3N
71.002 g/mol
전자 화학물질위험
NITROGEN TRIFLUORIDE
CAS7783-54-2EC232-007-1
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
할로카본
주요 용도
chamber-cleaning gas for electronics manufacturing
Nitrogen trifluoride is an inorganic compound that is a colorless, non-flammable, toxic gas with a slightly musty odor. It is primarily used as a chamber-cleaning gas in electronics manufacturing.
chamber-cleaning gas for electronics manufacturing
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CAS 7783-54-2
관련 화합물
안전 참조
위험
H270May cause or intensify fire; oxidizer
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H332Harmful if inhaled
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H371May cause damage to organs
식별자
InChIKey
GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
SMILES
N(F)(F)F
동의어 목록 (16)
- N,N,N-Trifluoroamine #
- NF(3) gas
- NITROGEN TRIFLUORIDE
- Nitrogen fluoride
- Nitrogen fluoride (NF3)
- Perfluoroammonia
- Trifluoramine
- Trifluorammonia
- Trifluoroamine
- Trifluoroammonia
- [NF3]
- trifluoridonitrogen
- trifluoroazane