F4Ti
123.861 g/mol
전자 화학물질위험
Titanium tetrafluoride
CAS7783-63-3EC232-017-6
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
무기염
주요 용도
Electronic chemical precursor
Titanium tetrafluoride is an inorganic compound used as an electronic chemical precursor in the manufacturing of electronic materials. It serves as a source of titanium in various chemical vapor deposition and semiconductor fabrication processes.
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CAS 7783-63-3
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안전 참조
위험
H302Harmful if swallowed
H312Harmful in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H332Harmful if inhaled
식별자
IUPAC 이름
tetrafluorotitanium
InChIKey
XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J
SMILES
F[Ti](F)(F)F
동의어 목록 (4)
- Titanium(IV) fluoride
- tetrafluorotitanium
- titanium tetrafluoride
- titanium(4+) tetrafluoride