F3N
71.002 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
NITROGEN TRIFLUORIDE
CAS7783-54-2EC232-007-1
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Halogenkohlenstoff
Hauptverwendung
chamber-cleaning gas for electronics manufacturing
Nitrogen trifluoride is an inorganic compound that is a colorless, non-flammable, toxic gas with a slightly musty odor. It is primarily used as a chamber-cleaning gas in electronics manufacturing.
chamber-cleaning gas for electronics manufacturing
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CAS 7783-54-2
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CAS7784-42-1
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H270May cause or intensify fire; oxidizer
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H332Harmful if inhaled
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H371May cause damage to organs
Identifikatoren
InChIKey
GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
SMILES
N(F)(F)F
Synonyme (16)
- N,N,N-Trifluoroamine #
- NF(3) gas
- NITROGEN TRIFLUORIDE
- Nitrogen fluoride
- Nitrogen fluoride (NF3)
- Perfluoroammonia
- Trifluoramine
- Trifluorammonia
- Trifluoroamine
- Trifluoroammonia
- [NF3]
- trifluoridonitrogen
- trifluoroazane