F4Ti
123.861 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
Titanium tetrafluoride
CAS7783-63-3EC232-017-6
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Anorganisches Salz
Hauptverwendung
Electronic chemical precursor
Titanium tetrafluoride is an inorganic compound used as an electronic chemical precursor in the manufacturing of electronic materials. It serves as a source of titanium in various chemical vapor deposition and semiconductor fabrication processes.
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CAS 7783-63-3
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H302Harmful if swallowed
H312Harmful in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H332Harmful if inhaled
Identifikatoren
IUPAC-Name
tetrafluorotitanium
InChIKey
XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J
SMILES
F[Ti](F)(F)F
Synonyme (4)
- Titanium(IV) fluoride
- tetrafluorotitanium
- titanium tetrafluoride
- titanium(4+) tetrafluoride