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F6W
297.83 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr

Tungsten hexafluoride

CAS7783-82-6EC232-029-1
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Halogenkohlenstoff
Hauptverwendung
Tungsten chemical vapor deposition source

Tungsten hexafluoride is a tungsten compound primarily used as a source for tungsten deposition in chemical vapor deposition processes. It is significant in the electronics industry for forming tungsten interconnects within semiconductor devices.

Tungsten coating via chemical vapor depositionSource of tungsten metal for semiconductor interconnects

Geltungsbereich: Die Informationen auf dieser Seite betreffen die Identifizierung von Chemikalien sowie industrielle Liefer-, Forschungs- und Produktionskontexte. Sie stellen keine Heilversprechen, medizinische Beratung oder Anwendungshinweise für Arzneimittel dar.

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Sicherheitsreferenz

Gas unter Druck
Gas unter Druck
Ätzend
Ätzend
Giftig
Giftig
Gefahr
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H301Toxic if swallowed
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H330Fatal if inhaled
Regulatorische Konformität1
  • CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCNRegulierung
    Gelistet· gelistet seit 2015-05-01Quelle

Zolltarifliche Einreihung

Der internationale HS-Code für Tungsten hexafluoride (CAS 7783-82-6) lautet 2826.19.

HS-Code (international, 6-stellig)

2826.19

EU-KN-Code (8-stellig)

2826 19 90

Einreihung gemäß dem EU-Zollverzeichnis ECICS (Stand 2026-07, HS 2022). Nationale Tariflinien und die Erzeugnisform können die endgültige Einreihung beeinflussen.

Identifikatoren
IUPAC-Name

hexafluorotungsten

InChIKey

NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H

SMILES

F[W](F)(F)(F)(F)F

Synonyme (12)
  • Hexafluorotungsten
  • TUNGSTEN HEXAFLUORIDE (WF6)
  • TUNGSTEN(6+) FLUORIDE
  • Tungsten fluoride
  • Tungsten fluoride (WF6)
  • Tungsten hexafluoride
  • Tungsten(6+) hexafluoride
  • Tungsten(VI) fluoride
  • WOLFRAM HEXAFLUORIDE

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