H4Si
32.117 g/mol
电子化学品危险
SILANE
甲硅烷
CAS7803-62-5EC232-263-4
用途分类
电子化学品
化合物类别
其他
主要用途
半导体沉积用硅源
硅烷是一种无色、易燃、有毒的气体，具有强烈的刺激性气味。它在空气中易自燃，吸入后毒性极强。
半导体用高纯硅的来源固态器件的掺杂剂非晶硅的生产
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CAS 7803-62-5
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研究用化合物
安全参考
危险
H220Extremely flammable gas
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H333May be harmful if inhaled
H335May cause respiratory irritation
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
标识符
IUPAC 名称
silane
InChIKey
BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
[SiH4]
别名列表 (9)
- SILANE
- Flots 100SCO
- Monosilane
- Silan
- Silicane
- Silicon hydride
- Silicon hydride (SiH4)
- Silicon tetrahydride
- tetrahydridosilicon