C8H4Cl3F13Si
481.5 g/mol
电子化学品危险
Trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
CAS78560-45-9EC278-947-6
用途分类
电子化学品
化合物类别
金属有机
主要用途
晶圆键合涂层
三氯(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟辛基)硅烷是一种有机硅化合物，在半导体工业中用作涂层剂。其主要意义在于促进制造过程中薄晶圆的键合与处理。
薄晶圆键合与处理用涂层半导体晶圆减薄
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CAS 78560-45-9
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安全参考
危险
H314Causes severe skin burns and eye damage
H335May cause respiratory irritation
标识符
IUPAC 名称
trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
InChIKey
PISDRBMXQBSCIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C[Si](Cl)(Cl)Cl)C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F
别名列表 (14)
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