F4Ti
123.861 g/mol
电子化学品危险
Titanium tetrafluoride
四氟化钛
CAS7783-63-3EC232-017-6
用途分类
电子化学品
化合物类别
无机盐
主要用途
电子化学品前驱体
四氟化钛是一种用作电子化学品前驱体的无机化合物，用于电子材料的制造。它在化学气相沉积和半导体制造过程中作为钛的来源。
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CAS 7783-63-3
相关化合物
安全参考
危险
H302Harmful if swallowed
H312Harmful in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H332Harmful if inhaled
标识符
IUPAC 名称
tetrafluorotitanium
InChIKey
XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J
SMILES
F[Ti](F)(F)F
别名列表 (4)
- Titanium(IV) fluoride
- tetrafluorotitanium
- titanium tetrafluoride
- titanium(4+) tetrafluoride