C3H9Al
72.09 g/mol
电子化学品危险
Trimethylaluminum
三甲基铝
CAS75-24-1EC200-853-0
用途分类
电子化学品
化合物类别
金属有机
主要用途
半导体薄膜生长前驱体
三甲基铝是一种有机铝化合物，以二聚体形式存在，是一种无色、自燃性液体。它主要用作半导体薄膜生长的前驱体。
半导体薄膜生长前驱体化学气相沉积中铝的来源
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CAS 75-24-1
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安全参考
危险
H250Catches fire spontaneously if exposed to air
H260In contact with water releases flammable gases which may ignite spontaneously
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
标识符
IUPAC 名称
trimethylalumane
InChIKey
JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C[Al](C)C
别名列表 (23)
- Al(Me)3
- Aluminum trimethanide
- Aluminum, trimethyl-
- TRIMETHYLALUMINUM (AL(CH3)3)
- Trimethylalane
- Trimethylaluminum
- Trimethylaluminum, elec. gr.
- trimethyaluminium
- trimethyaluminum
- trimethyl aluminium
- trimethylaiuminium
- trimethylalumane
- trimethylalumimum
- trirnethylaluminium