TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE

四甲基氢氧化铵

CAS75-59-2EC200-882-9

用途分类

电子化学品

化合物类别

无机盐

主要用途

半导体光刻胶显影剂和蚀刻剂

四甲基氢氧化铵是一种腐蚀性固体或无色液体，具有强烈的氨味，可溶于水。它主要用于半导体制造中作为光刻胶显影剂和蚀刻剂。

半导体制造中的光刻胶显影剂硅的各向异性蚀刻剂化学分析中的缓冲剂和滴定剂

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CAS 75-59-2

安全参考

腐蚀性

毒性

健康危害

环境危害

危险

H300Fatal if swallowed

H310Fatal in contact with skin

H311Toxic in contact with skin

H314Causes severe skin burns and eye damage

H318Causes serious eye damage

H370Causes damage to organs

H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure

H411Toxic to aquatic life with long lasting effects

H301Toxic if swallowed

标识符

IUPAC 名称

tetramethylazanium hydroxide

InChIKey

WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M

SMILES

C[N+](C)(C)C.[OH-]

别名列表 (23)