八氟己二酸是一种氟化二羧酸,在半导体光刻中用作顶部抗反射涂层。其结构包含两个羧酸基团和八个氟原子,使其适用于电子化学品领域。
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CAS 336-08-3
2,2,3,3,4,4,5,5-octafluorohexanedioic acid
AXRSOGFYDSXLQX-UHFFFAOYSA-N
C(=O)(C(C(C(C(C(=O)O)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)O