CF4
88.004 g/mol
Produto químico industrialAtenção
CARBON TETRAFLUORIDE
CAS75-73-0EC200-896-5
Categoria
Produto químico industrial
Classe do Composto
Halocarbono
Uso Principal
low temperature refrigerant and gaseous insulator
Carbon tetrafluoride is a halocarbon compound used as a low temperature refrigerant and gaseous insulator. It is also employed in the semiconductor industry for plasma etching of silicon wafers.
low temperature refrigerantgaseous insulatorplasma etching of silicon wafers in semiconductor manufacturing
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CAS 75-73-0
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Referência de Segurança
Atenção
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
Identificadores
Nome IUPAC
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
Sinônimos (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon