C3H9Al
72.09 g/mol
電子化学品危険
Trimethylaluminum
トリメチルアルミニウム
CAS75-24-1EC200-853-0
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
有機金属
主な用途
半導体薄膜成長前駆体
トリメチルアルミニウムは有機アルミニウム化合物であり、二量体として存在する無色で自然発火性の液体です。主に半導体薄膜成長の前駆体として使用されます。
半導体薄膜成長の前駆体化学気相成長におけるアルミニウム源
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CAS 75-24-1
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安全参照
危険
H250Catches fire spontaneously if exposed to air
H260In contact with water releases flammable gases which may ignite spontaneously
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
識別子
IUPAC名
trimethylalumane
InChIKey
JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C[Al](C)C
別名一覧 (23)
- Al(Me)3
- Aluminum trimethanide
- Aluminum, trimethyl-
- TRIMETHYLALUMINUM (AL(CH3)3)
- Trimethylalane
- Trimethylaluminum
- Trimethylaluminum, elec. gr.
- trimethyaluminium
- trimethyaluminum
- trimethyl aluminium
- trimethylaiuminium
- trimethylalumane
- trimethylalumimum
- trirnethylaluminium