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C4H13NO
91.15 g/mol
電子化学品危険

TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE

水酸化テトラメチルアンモニウム

CAS75-59-2EC200-882-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
無機塩
主な用途
半導体フォトレジスト現像液およびエッチャント

テトラメチルアンモニウムヒドロキシドは、強いアンモニア臭を持つ腐食性の固体または無色の液体で、水に可溶です。主に半導体製造において、フォトレジストの現像液およびエッチャントとして使用されます。

半導体製造におけるフォトレジスト現像液シリコンの異方性エッチャント化学分析における緩衝剤および滴定剤

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安全参照

腐食性
腐食性
毒性
毒性
健康有害性
健康有害性
環境有害性
環境有害性
危険
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
規制コンプライアンス1
  • CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCN規制
    掲載済み· 記載日 2015-05-01出典

関税分類(HSコード)

TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE(CAS 75-59-2)の国際HSコードは 2923.90 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2923.90

EU CNコード(8桁)

2923 90 00

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
IUPAC名

tetramethylazanium hydroxide

InChIKey

WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M

SMILES

C[N+](C)(C)C.[OH-]

別名一覧 (23)
  • NMW-W
  • TMAH
  • TMAOH
  • NMD 3
  • TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
  • TMAH 10 % in water
  • tetramethylammonium oxide
  • tetramethylamonium hydroxide
  • tetramethylazanium;hydroxide

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