C4H13NO
91.15 g/mol
電子化学品危険
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
水酸化テトラメチルアンモニウム
CAS75-59-2EC200-882-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
無機塩
主な用途
半導体フォトレジスト現像液およびエッチャント
テトラメチルアンモニウムヒドロキシドは、強いアンモニア臭を持つ腐食性の固体または無色の液体で、水に可溶です。主に半導体製造において、フォトレジストの現像液およびエッチャントとして使用されます。
半導体製造におけるフォトレジスト現像液シリコンの異方性エッチャント化学分析における緩衝剤および滴定剤
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CAS 75-59-2
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CAS7783-07-5
半導体の調製とドーピング
安全参照
危険
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
識別子
IUPAC名
tetramethylazanium hydroxide
InChIKey
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C[N+](C)(C)C.[OH-]
別名一覧 (23)
- NMW-W
- TMAH
- TMAOH
- NMD 3
- TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
- TMAH 10 % in water
- tetramethylammonium oxide
- tetramethylamonium hydroxide
- tetramethylazanium;hydroxide