C6H15BO3
145.99 g/mol
電子化学品危険
TRIETHYL BORATE
ホウ酸トリエチル
CAS150-46-9EC205-760-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
エステル
主な用途
半導体製造プロセス試薬
ホウ酸トリエチルは無色の液体で、ホウ酸とエタノールのエステルです。主に半導体製造プロセスにおける試薬として使用されます。
半導体製造プロセス試薬
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CAS 150-46-9
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安全参照
危険
H225Highly flammable liquid and vapour
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H361Suspected of damaging fertility or the unborn child
識別子
IUPAC名
triethyl borate
InChIKey
AJSTXXYNEIHPMD-UHFFFAOYSA-N
SMILES
B(OCC)(OCC)OCC
別名一覧 (20)
- (EtO)3B
- B(OEt)3
- BORON ETHOXIDE (B(OET)3)
- Borane, triethoxy-
- Boric acid, triethyl ester
- Boron ethoxide
- Boron triethoxide
- Borsaeuretriethylester
- Ethyl borate
- Ethyl borate ((EtO)3B)
- TRIETHYL BORATE
- Triethlborate
- Triethoxyborane
- Triethoxyborine
- Triethoxyboron
- Triethyl borate Ethyl borate
- Triethylborat
- Triethylester kyseliny borite