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ホーム/化合物/電子化学品/Palladium tetramethylheptanedionate(Pd(thd)2)
C22H40O4Pd
475 g/mol
電子化学品

Palladium tetramethylheptanedionate(Pd(thd)2)

CAS15214-66-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
有機金属
主な用途
パラジウム析出用前駆体

この化合物は、2つのテトラメチルヘプタンジオネート配位子を持つパラジウム錯体であり、化学気相成長法によるパラジウム薄膜形成の前駆体として使用されます。その主な重要性は、電子材料製造におけるパラジウムの揮発性供給源としての役割にあります。

パラジウム析出用前駆体化学気相成長用試薬

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CAS 15214-66-1

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識別子
IUPAC名

bis((Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one);palladium

InChIKey

BAMDVVIRBULKGA-ATMONBRVSA-N

SMILES

CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.[Pd]

別名一覧 (3)

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