F4Ti
123.861 g/mol
Produit chimique électroniqueDanger
Titanium tetrafluoride
CAS7783-63-3EC232-017-6
Catégorie
Produit chimique électronique
Classe du Composé
Sel inorganique
Utilisation principale
Electronic chemical precursor
Titanium tetrafluoride is an inorganic compound used as an electronic chemical precursor in the manufacturing of electronic materials. It serves as a source of titanium in various chemical vapor deposition and semiconductor fabrication processes.
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CAS 7783-63-3
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Référence Sécurité
Danger
H302Harmful if swallowed
H312Harmful in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H332Harmful if inhaled
Identifiants
Nom IUPAC
tetrafluorotitanium
InChIKey
XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J
SMILES
F[Ti](F)(F)F
Synonymes (4)
- Titanium(IV) fluoride
- tetrafluorotitanium
- titanium tetrafluoride
- titanium(4+) tetrafluoride