Accueil/Composés/Produit chimique électronique/Tungsten hexafluoride

F₆W

297.83 g/mol

Produit chimique électroniqueDanger

Tungsten hexafluoride

CAS7783-82-6EC232-029-1

Catégorie

Produit chimique électronique

Classe du Composé

Halocarbure

Utilisation principale

Tungsten chemical vapor deposition source

Tungsten hexafluoride is a tungsten compound primarily used as a source for tungsten deposition in chemical vapor deposition processes. It is significant in the electronics industry for forming tungsten interconnects within semiconductor devices.

Tungsten coating via chemical vapor depositionSource of tungsten metal for semiconductor interconnects

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Référence Sécurité

Gaz sous pression

Corrosif

Toxique

Danger

H280Contains gas under pressure; may explode if heated

H301Toxic if swallowed

H311Toxic in contact with skin

H314Causes severe skin burns and eye damage

H318Causes serious eye damage

H330Fatal if inhaled

Conformité Réglementaire1

CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCNRéglementation
Inscrit· inscrit depuis 2015-05-01Source

Classement tarifaire douanier

Le code SH international de Tungsten hexafluoride (CAS 7783-82-6) est 2826.19.

Code SH (international, 6 chiffres)

2826.19

Code NC de l’UE (8 chiffres)

2826 19 90

Classement selon l’inventaire douanier de l’UE ECICS (instantané 2026-07, SH 2022). Les lignes tarifaires nationales et la forme du produit peuvent influer sur le classement final.

Identifiants

Nom IUPAC

hexafluorotungsten

InChIKey

NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H

SMILES

F[W](F)(F)(F)(F)F

Synonymes (12)

Hexafluorotungsten
TUNGSTEN HEXAFLUORIDE (WF6)
TUNGSTEN(6+) FLUORIDE
Tungsten fluoride
Tungsten fluoride (WF6)
Tungsten hexafluoride
Tungsten(6+) hexafluoride
Tungsten(VI) fluoride
WOLFRAM HEXAFLUORIDE

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