C4H13NO
91.15 g/mol
Producto químico electrónicoPeligro
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
CAS75-59-2EC200-882-9
Categoría
Producto químico electrónico
Clase de Compuesto
Sal inorgánica
Uso Principal
Semiconductor photoresist developer and etchant
Tetramethylammonium hydroxide is a corrosive solid or colorless liquid with a strong ammonia-like odor, soluble in water. It is primarily used in semiconductor manufacturing as a photoresist developer and etchant.
Photoresist developer in semiconductor manufacturingAnisotropic etchant for siliconBuffer and titrant in chemical analysis
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CAS 75-59-2
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Referencia de Seguridad
Peligro
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
Identificadores
Nombre IUPAC
tetramethylazanium hydroxide
InChIKey
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C[N+](C)(C)C.[OH-]
Sinónimos (23)
- NMW-W
- TMAH
- TMAOH
- NMD 3
- TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
- TMAH 10 % in water
- tetramethylammonium oxide
- tetramethylamonium hydroxide
- tetramethylazanium;hydroxide