C8F18O5S2
582.2 g/mol
Producto químico electrónicoPeligro
Nonafluorobutanesulfonic anhydride
CAS36913-91-4EC253-270-9
Categoría
Producto químico electrónico
Clase de Compuesto
Halocarbono
Uso Principal
Photoacid generator for semiconductor manufacturing
Nonafluorobutanesulfonic anhydride is a high-molecular-weight perfluorinated compound used as a photoacid generator in the semiconductor manufacturing industry. Its primary significance lies in enabling photoresist processes for the production of semiconductor devices.
Photoacid generator for manufacturing semiconductor devicesLaboratory chemical for scientific research and development
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CAS 36913-91-4
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Referencia de Seguridad
Peligro
H314Causes severe skin burns and eye damage
H319Causes serious eye irritation
Identificadores
Nombre IUPAC
1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
InChIKey
QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F
Sinónimos (13)
- Nonaflate anhydride