C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
Producto químico electrónicoPeligro
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
Categoría
Producto químico electrónico
Clase de Compuesto
Organometálico
Uso Principal
silicon precursor for chemical vapor deposition
Di-tert-butyldichlorosilane is an organosilicon compound primarily used as a silicon precursor in chemical vapor deposition processes. Its structure contains two chlorine atoms and two tert-butyl groups bonded to a central silicon atom.
silicon precursor for chemical vapor deposition
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CAS 18395-90-9
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Referencia de Seguridad
Peligro
H314Causes severe skin burns and eye damage
Identificadores
Nombre IUPAC
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
Sinónimos (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane