六甲基二硅氮烷
六甲基二硅氮烷(HMDS)是一种有机硅化合物,由氨衍生而来,其中两个氢原子被三甲基硅基取代。它主要用作生产硅氧烷聚合物的化学中间体。
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CAS 999-97-3
[dimethyl-(trimethylsilylamino)silyl]methane
FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N
C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C