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首页/化合物/电子化学品/Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))
C36H28F12S3Sb2
1028.3 g/mol
电子化学品

Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))

CAS89452-37-9
用途分类
电子化学品
化合物类别
无机盐
主要用途
光刻胶用光酸产生剂

该化合物是一种锍盐光酸产生剂,用于光刻胶配方中,在半导体制造中发挥关键作用。它通过光照产生酸,驱动化学放大反应,从而实现高分辨率光刻图案化。

光刻胶用光酸产生剂半导体光刻图案化组件

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标识符
IUPAC 名称

[4-(4-diphenylsulfoniophenyl)sulfanylphenyl]-diphenylsulfanium;bis(hexafluoroantimony(1-))

InChIKey

DREXYWKFHDOSNT-UHFFFAOYSA-B

SMILES

C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=C(C=C3)SC4=CC=C(C=C4)[S+](C5=CC=CC=C5)C6=CC=CC=C6.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F

别名列表 (4)

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