C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
电子化学品警告
N-Hydroxynaphthalimide triflate
CAS85342-62-7
用途分类
电子化学品
化合物类别
杂环
主要用途
光刻胶用光致产酸剂
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯是一种用于半导体制造光刻胶的光致产酸剂。它属于非聚合物PFAS化合物，在光照下产生酸，从而在光刻胶层中形成图案。
光刻胶用光致产酸剂用于半导体器件制造
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CAS 85342-62-7
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医药原料
安全参考
警告
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标识符
IUPAC 名称
(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate
InChIKey
LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F
别名列表 (10)
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