F4Si
104.079 g/mol
工业化学品危险
Tetrafluorosilane
四氟化硅
CAS7783-61-1EC232-015-5
用途分类
工业化学品
化合物类别
卤代烃
主要用途
生产硅烷和电子用硅
四氟硅烷是一种硅和氟的无机化合物。其主要用途是作为生产硅烷以及用于电子和光伏领域的高纯硅的中间体。
生产硅烷生产电子或光伏用硅蚀刻剂
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CAS 7783-61-1
相关化合物
安全参考
危险
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H330Fatal if inhaled
H331Toxic if inhaled
标识符
IUPAC 名称
tetrafluorosilane
InChIKey
ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N
SMILES
F[Si](F)(F)F
别名列表 (8)
- Perfluorosilane
- SILICON TETRAFLUORIDE
- Silane, tetrafluoro-
- Silicon fluoride (SiF4)
- Tetrafluorosilane