F5P
125.9657778 g/mol
工业化学品危险
PHOSPHORUS PENTAFLUORIDE
五氟化磷
CAS7647-19-0EC231-602-3
用途分类
工业化学品
化合物类别
其他
主要用途
催化剂和氟化剂
五氟化磷是一种无机化合物，在工业化学中用作催化剂和氟化剂。它在半导体制造中作为磷源用于离子注入。
离子聚合反应的催化剂氟化剂半导体离子注入的磷源
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CAS 7647-19-0
相关化合物
安全参考
危险
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H314Causes severe skin burns and eye damage
H330Fatal if inhaled
标识符
IUPAC 名称
pentafluoro-lambda5-phosphane
InChIKey
OBCUTHMOOONNBS-UHFFFAOYSA-N
SMILES
FP(F)(F)(F)F
别名列表 (12)
- PHOSPHORUS PENTAFLUORIDE
- Pentafluorophosphorane
- Pentafluorophosphorus
- Phosphorane, pentafluoro-
- Phosphorus fluoride (PF5)
- Phosphorus(V) fluoride
- Phosphorus, fluoride, penta-
- [PF5]
- pentafluoridophosphorus