Nonafluorobutanesulfonic anhydride

CAS36913-91-4EC253-270-9

用途分类

电子化学品

化合物类别

卤代烃

主要用途

用于半导体制造的光酸产生剂

全氟丁烷磺酸酐是一种高分子量的全氟化合物，在半导体制造工业中用作光酸产生剂。其重要性在于支持半导体器件生产中的光刻胶工艺。

用于制造半导体器件的光酸产生剂用于科学研究和开发的实验室化学品

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CAS 36913-91-4

安全参考

腐蚀性

有害

危险

H314Causes severe skin burns and eye damage

H319Causes serious eye irritation

标识符

IUPAC 名称

1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate

InChIKey

QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N

SMILES

C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F

别名列表 (13)