十三氟己基乙基甲基丙烯酸酯是一种氟化甲基丙烯酸酯单体,用作半导体制造中的光刻胶组分。其高度氟化的结构有助于在光刻工艺中提高抗蚀刻性和光学性能。
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CAS 2144-53-8
3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl 2-methylprop-2-enoate
CDXFIRXEAJABAZ-UHFFFAOYSA-N
CC(=C)C(=O)OCCC(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F