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C12H9F13O2
432.18 g/mol
电子化学品警告

Tridecafluorohexylethyl methacrylate

CAS2144-53-8EC218-407-9
用途分类
电子化学品
化合物类别
酯
主要用途
半导体制造用光刻胶组分

十三氟己基乙基甲基丙烯酸酯是一种氟化甲基丙烯酸酯单体,用作半导体制造中的光刻胶组分。其高度氟化的结构有助于在光刻工艺中提高抗蚀刻性和光学性能。

半导体制造用光刻胶组分光刻胶用光敏剂

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CAS 2144-53-8

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安全参考

有害
有害
健康危害
健康危害
环境危害
环境危害
警告
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H410Very toxic to aquatic life with long lasting effects
标识符
IUPAC 名称

3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl 2-methylprop-2-enoate

InChIKey

CDXFIRXEAJABAZ-UHFFFAOYSA-N

SMILES

CC(=C)C(=O)OCCC(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F

别名列表 (19)
  • ACTYFLON G 06B
  • CAPSTONE 62MA
  • CHEMINOX FAMAC 6
  • FAMAC 6
  • FLUOWET MA 600