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C44H76O8Zr
824.3 g/mol
研究试剂

Tetrakis(2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dionato)zirconium

CAS18865-74-2
用途分类
研究试剂
化合物类别
金属有机
主要用途
研究用化合物

该化合物是一种含有四个四甲基庚二酮配体的锆配位络合物,用作薄膜沉积工艺中的挥发性金属前驱体。主要用于研究和实验室环境中的化学气相沉积或原子层沉积应用。

薄膜用挥发性金属前驱体化学气相沉积(CVD)研究原子层沉积(ALD)研究

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标识符
IUPAC 名称

tetrakis(2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dione);zirconium(4+)

InChIKey

MOOILSXNGBFZKZ-UHFFFAOYSA-N

SMILES

CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.[Zr+4]

别名列表 (1)

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