C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
电子化学品危险
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
用途分类
电子化学品
化合物类别
金属有机
主要用途
化学气相沉积的硅前驱体
二叔丁基二氯硅烷是一种有机硅化合物，主要用作化学气相沉积工艺中的硅前驱体。其分子结构包含两个氯原子和两个叔丁基基团连接在中心硅原子上。
用于化学气相沉积的硅前驱体
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CAS 18395-90-9
相关化合物
安全参考
危险
H314Causes severe skin burns and eye damage
标识符
IUPAC 名称
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
别名列表 (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane