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首页/化合物/电子化学品/Palladium tetramethylheptanedionate(Pd(thd)2)
C22H40O4Pd
475 g/mol
电子化学品

Palladium tetramethylheptanedionate(Pd(thd)2)

CAS15214-66-1
用途分类
电子化学品
化合物类别
金属有机
主要用途
钯沉积前驱体

该化合物是一种钯配合物,含有两个四甲基庚二酮配体,主要用作化学气相沉积过程中制备钯薄膜的前驱体。其重要意义在于作为钯的挥发性来源,用于电子材料的制造。

钯沉积前驱体化学气相沉积试剂

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标识符
IUPAC 名称

bis((Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one);palladium

InChIKey

BAMDVVIRBULKGA-ATMONBRVSA-N

SMILES

CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.[Pd]

别名列表 (3)

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