C9H27O4PSi3
314.54 g/mol
电子化学品危险
Tris(trimethylsilyl) phosphate
CAS10497-05-9EC234-028-1
用途分类
电子化学品
化合物类别
酯
主要用途
电子化学品
三(三甲基硅基)磷酸酯是一种有机硅化合物，由磷酸的三个羟基被(三甲基硅基)氧基取代而成。它主要用作电子化学品，用于工业制造过程。
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CAS 10497-05-9
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安全参考
危险
H225Highly flammable liquid and vapour
H226Flammable liquid and vapour
H314Causes severe skin burns and eye damage
H315Causes skin irritation
H318Causes serious eye damage
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H412Harmful to aquatic life with long lasting effects
标识符
IUPAC 名称
tris(trimethylsilyl) phosphate
InChIKey
QJMMCGKXBZVAEI-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C[Si](C)(C)OP(=O)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C
别名列表 (9)
- Phosphoric acid, triTMS
- Phosphoric acid, tris-TMS
- Tris-(trimethylsilyl)fosfat
- tritrimethylsilyl phosphate