Cl3HSi
135.45 g/mol
电子化学品危险
Silane, trichloro-
三氯氢硅
CAS10025-78-2EC233-042-5
用途分类
电子化学品
化合物类别
其他
主要用途
高纯硅的生产
三氯硅烷是一种化学化合物，是生产高纯硅的关键中间体。它主要用于电子行业，制造半导体和太阳能电池所需的多晶硅。
生产高纯硅制造半导体用多晶硅
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CAS 10025-78-2
相关化合物
安全参考
危险
H224Extremely flammable liquid and vapour
H260In contact with water releases flammable gases which may ignite spontaneously
H302Harmful if swallowed
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H331Toxic if inhaled
H250Catches fire spontaneously if exposed to air
H332Harmful if inhaled
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H330Fatal if inhaled
H371May cause damage to organs
标识符
IUPAC 名称
trichlorosilane
InChIKey
ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
[SiH](Cl)(Cl)Cl
别名列表 (9)
- Silane, trichloro-
- Silici-chloroforme
- Siliciumchloroform
- Silicochloroform
- Trichloorsilaan
- Trichlorosilane
- Trichlorsilan
- Triclorosilano