C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
전자 화학물질경고
N-Hydroxynaphthalimide triflate
CAS85342-62-7
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
헤테로사이클
주요 용도
photoacid generator for photoresistors
N-Hydroxynaphthalimide triflate is a photoacid generator used in photoresist formulations for semiconductor manufacturing. It is a non-polymer PFAS compound that generates acid upon exposure to light, enabling pattern formation in photoresist layers.
photoacid generator for photoresistorsused in manufacturing semiconductor devices
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CAS 85342-62-7
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안전 참조
경고
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식별자
IUPAC 이름
(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate
InChIKey
LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F
동의어 목록 (10)
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