C8H4Cl3F13Si
481.5 g/mol
전자 화학물질위험
Trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
CAS78560-45-9EC278-947-6
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
유기금속
주요 용도
Coating for wafer bonding
Trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane is an organosilicon compound used as a coating agent in the semiconductor industry. Its primary significance is in facilitating thin wafer bonding and handling during manufacturing processes.
Coating for thin wafer bonding and handlingSemiconductor wafer thinning
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CAS 78560-45-9
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CAS83605-44-1
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안전 참조
위험
H314Causes severe skin burns and eye damage
H335May cause respiratory irritation
식별자
IUPAC 이름
trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane
InChIKey
PISDRBMXQBSCIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C[Si](Cl)(Cl)Cl)C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F
동의어 목록 (14)
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