F4Si
104.079 g/mol
산업용 화학물질위험
Tetrafluorosilane
CAS7783-61-1EC232-015-5
용도 분류
산업용 화학물질
화합물 분류
할로카본
주요 용도
Manufacture of silane and electronic silicon
Tetrafluorosilane is an inorganic compound of silicon and fluorine. It is primarily significant as an intermediate in the manufacture of silane and high-purity silicon used in electronics and photovoltaics.
Manufacture of silaneManufacture of electronic or photovoltaic siliconEtching agent
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CAS 7783-61-1
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안전 참조
위험
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H330Fatal if inhaled
H331Toxic if inhaled
식별자
IUPAC 이름
tetrafluorosilane
InChIKey
ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N
SMILES
F[Si](F)(F)F
동의어 목록 (8)
- Perfluorosilane
- SILICON TETRAFLUORIDE
- Silane, tetrafluoro-
- Silicon fluoride (SiF4)
- Tetrafluorosilane