CF4
88.004 g/mol
산업용 화학물질경고
CARBON TETRAFLUORIDE
CAS75-73-0EC200-896-5
용도 분류
산업용 화학물질
화합물 분류
할로카본
주요 용도
low temperature refrigerant and gaseous insulator
Carbon tetrafluoride is a halocarbon compound used as a low temperature refrigerant and gaseous insulator. It is also employed in the semiconductor industry for plasma etching of silicon wafers.
low temperature refrigerantgaseous insulatorplasma etching of silicon wafers in semiconductor manufacturing
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CAS 75-73-0
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안전 참조
경고
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
식별자
IUPAC 이름
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
동의어 목록 (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon