C4H13NO
91.15 g/mol
전자 화학물질위험
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
CAS75-59-2EC200-882-9
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
무기염
주요 용도
Semiconductor photoresist developer and etchant
Tetramethylammonium hydroxide is a corrosive solid or colorless liquid with a strong ammonia-like odor, soluble in water. It is primarily used in semiconductor manufacturing as a photoresist developer and etchant.
Photoresist developer in semiconductor manufacturingAnisotropic etchant for siliconBuffer and titrant in chemical analysis
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관련 화합물
강한 관련동일 모체 구조
Tetramethylammonium hydroxide pentahydrate
CAS10424-65-4
structure directing agent
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semiconductor production and doping agent
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CAS7783-07-5
semiconductor preparation and doping
관련 기사
안전 참조
위험
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
규제 준수1
- CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCN규정
관세 품목분류(HS 코드)
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE(CAS 75-59-2)의 국제 HS 코드는 2923.90입니다.
HS 코드(국제 공통, 6자리)
2923.90
EU CN 코드(8자리)
2923 90 00
EU 세관 화학물질 목록 ECICS(2026-07 스냅숏, HS 2022)에 따른 분류입니다. 국가별 세부 세번과 제품 형태에 따라 최종 분류가 달라질 수 있습니다.
식별자
IUPAC 이름
tetramethylazanium hydroxide
InChIKey
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C[N+](C)(C)C.[OH-]
동의어 목록 (23)
- NMW-W
- TMAH
- TMAOH
- NMD 3
- TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
- TMAH 10 % in water
- tetramethylammonium oxide
- tetramethylamonium hydroxide
- tetramethylazanium;hydroxide
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