C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
전자 화학물질위험
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
용도 분류
전자 화학물질
화합물 분류
유기금속
주요 용도
silicon precursor for chemical vapor deposition
Di-tert-butyldichlorosilane is an organosilicon compound primarily used as a silicon precursor in chemical vapor deposition processes. Its structure contains two chlorine atoms and two tert-butyl groups bonded to a central silicon atom.
silicon precursor for chemical vapor deposition
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CAS 18395-90-9
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안전 참조
위험
H314Causes severe skin burns and eye damage
식별자
IUPAC 이름
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
동의어 목록 (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane