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ホーム/化合物/電子化学品/Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))
C36H28F12S3Sb2
1028.3 g/mol
電子化学品

Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))

CAS89452-37-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
無機塩
主な用途
フォトレジスト用光酸発生剤

この化合物は、フォトレジスト配合に用いられるスルホニウム塩系光酸発生剤であり、半導体製造における高解像度リソグラフィーを可能にします。光照射により酸を発生させ、化学増幅プロセスを駆動します。

フォトレジスト用光酸発生剤半導体リソグラフィーのパターニング用成分

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CAS 89452-37-9

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識別子
IUPAC名

[4-(4-diphenylsulfoniophenyl)sulfanylphenyl]-diphenylsulfanium;bis(hexafluoroantimony(1-))

InChIKey

DREXYWKFHDOSNT-UHFFFAOYSA-B

SMILES

C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=C(C=C3)SC4=CC=C(C=C4)[S+](C5=CC=CC=C5)C6=CC=CC=C6.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F

別名一覧 (4)

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