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ホーム/化合物/電子化学品/Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))
C36H28F12S3Sb2
1028.3 g/mol
電子化学品

Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))

CAS89452-37-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
無機塩
主な用途
フォトレジスト用光酸発生剤

この化合物は、フォトレジスト配合に用いられるスルホニウム塩系光酸発生剤であり、半導体製造における高解像度リソグラフィーを可能にします。光照射により酸を発生させ、化学増幅プロセスを駆動します。

フォトレジスト用光酸発生剤半導体リソグラフィーのパターニング用成分

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関税分類(HSコード)

Sulfonium, (thiodi-4,1-phenylene)bis(diphenyl-, bis((OC-6-11)-hexafluoroantimonate(1-))(CAS 89452-37-9)の国際HSコードは 2930.90 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2930.90

EU CNコード(8桁)

2930 90 95

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
IUPAC名

[4-(4-diphenylsulfoniophenyl)sulfanylphenyl]-diphenylsulfanium;bis(hexafluoroantimony(1-))

InChIKey

DREXYWKFHDOSNT-UHFFFAOYSA-B

SMILES

C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=C(C=C3)SC4=CC=C(C=C4)[S+](C5=CC=CC=C5)C6=CC=CC=C6.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F.F[Sb-](F)(F)(F)(F)F

別名一覧 (4)

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