C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
電子化学品警告
N-Hydroxynaphthalimide triflate
CAS85342-62-7
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
複素環
主な用途
フォトレジスト用光酸発生剤
N-ヒドロキシナフタルイミドトリフラートは、半導体製造におけるフォトレジスト用の光酸発生剤です。非ポリマーPFAS化合物であり、光照射により酸を発生し、フォトレジスト層にパターンを形成します。
フォトレジスト用光酸発生剤半導体デバイス製造に使用
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CAS 85342-62-7
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CAS69408-81-7
医薬原料
安全参照
警告
H319Causes serious eye irritation
識別子
IUPAC名
(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate
InChIKey
LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F
別名一覧 (10)
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