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C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
電子化学品警告

N-Hydroxynaphthalimide triflate

CAS85342-62-7
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
複素環
主な用途
フォトレジスト用光酸発生剤

N-ヒドロキシナフタルイミドトリフラートは、半導体製造におけるフォトレジスト用の光酸発生剤です。非ポリマーPFAS化合物であり、光照射により酸を発生し、フォトレジスト層にパターンを形成します。

フォトレジスト用光酸発生剤半導体デバイス製造に使用

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安全参照

有害
有害
警告
H319Causes serious eye irritation
識別子
IUPAC名

(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate

InChIKey

LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N

SMILES

C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F

別名一覧 (10)

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