Tetrafluorosilane

四フッ化ケイ素

CAS7783-61-1EC232-015-5

用途カテゴリー

工業用化学品

化合物分類

ハロカーボン

主な用途

シランおよび電子用シリコンの製造

テトラフルオロシランは、ケイ素とフッ素からなる無機化合物です。主にシランおよびエレクトロニクスや太陽光発電用途の高純度ケイ素の製造中間体として重要です。

シランの製造電子機器用または太陽電池用シリコンの製造エッチング剤

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CAS 7783-61-1

安全参照

高圧ガス

腐食性

毒性

危険

H280Contains gas under pressure; may explode if heated

H300Fatal if swallowed

H310Fatal in contact with skin

H314Causes severe skin burns and eye damage

H330Fatal if inhaled

H331Toxic if inhaled

識別子

IUPAC名

tetrafluorosilane

InChIKey

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

SMILES

F[Si](F)(F)F

別名一覧 (8)