CF4
88.004 g/mol
工業用化学品警告
CARBON TETRAFLUORIDE
四フッ化炭素
CAS75-73-0EC200-896-5
用途カテゴリー
工業用化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
低温冷媒およびガス絶縁体
四フッ化炭素は、低温冷媒およびガス絶縁体として使用されるハロカーボン化合物です。また、半導体産業ではシリコンウェハのプラズマエッチングに使用されています。
低温冷媒ガス絶縁体半導体製造におけるシリコンウェハのプラズマエッチング
コンテンツの範囲: 本ページの情報は、化学品の識別および産業供給・研究開発・製造の文脈を対象としています。治療効果の主張、医療助言、または医薬品の使用指示には該当しません。
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関連化合物
安全参照
警告
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
規制コンプライアンス1
- CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCN規制
関税分類(HSコード)
CARBON TETRAFLUORIDE(CAS 75-73-0)の国際HSコードは 2903.49 です。
HSコード(国際共通・6桁)
2903.49
EU CNコード(8桁)
2903 49 30
EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。
識別子
IUPAC名
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
別名一覧 (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon
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