CF4
88.004 g/mol
工業用化学品警告
CARBON TETRAFLUORIDE
四フッ化炭素
CAS75-73-0EC200-896-5
用途カテゴリー
工業用化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
低温冷媒およびガス絶縁体
四フッ化炭素は、低温冷媒およびガス絶縁体として使用されるハロカーボン化合物です。また、半導体産業ではシリコンウェハのプラズマエッチングに使用されています。
低温冷媒ガス絶縁体半導体製造におけるシリコンウェハのプラズマエッチング
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CAS 75-73-0
関連化合物
安全参照
警告
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
識別子
IUPAC名
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
別名一覧 (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon