C19H15F3O3S2
412.4 g/mol
研究用試薬危険
Triphenylsulfonium triflate
CAS66003-78-9EC627-353-9
用途カテゴリー
研究用試薬
化合物分類
その他
主な用途
研究用化合物
トリフェニルスルホニウムトリフラートは、フォトレジスト用の光酸発生剤です。このトリアリールスルホニウム塩は、光照射により強酸を放出し、フォトリソグラフィープロセスにおける化学増幅を可能にします。
フォトレジスト用光酸発生剤
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CAS 66003-78-9
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安全参照
危険
H301Toxic if swallowed
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
識別子
IUPAC名
trifluoromethanesulfonate;triphenylsulfanium
InChIKey
FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=CC=C3.C(F)(F)(F)S(=O)(=O)[O-]
別名一覧 (6)
- Triphenylsulfonium triflate
- Triphenylsulphonium triflate