Triphenylsulfonium triflate

CAS66003-78-9EC627-353-9

用途カテゴリー

研究用試薬

化合物分類

その他

主な用途

研究用化合物

トリフェニルスルホニウムトリフラートは、フォトレジスト用の光酸発生剤です。このトリアリールスルホニウム塩は、光照射により強酸を放出し、フォトリソグラフィープロセスにおける化学増幅を可能にします。

フォトレジスト用光酸発生剤

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安全参照

毒性

有害

危険

H301Toxic if swallowed

H315Causes skin irritation

H319Causes serious eye irritation

H335May cause respiratory irritation

識別子

IUPAC名

trifluoromethanesulfonate;triphenylsulfanium

InChIKey

FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M

SMILES

C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=CC=C3.C(F)(F)(F)S(=O)(=O)[O-]

別名一覧 (6)

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